半球型電子能量分析器又稱半球能量分析器，簡稱HDA，是光電子能譜儀最核心的部件之一，主要用于測量樣品表面電子能量分布。光電子能譜儀用電子能量分析器分為筒鏡式電子能量分析器（CMA）、半球型電子能量分析器兩種。
　　半球能量分析器分辨率高，其能量分辨率來自于不同能量的電子在兩個半球之間的運動軌跡的不同。電源板卡是實現(xiàn)半球能量分析器高能量分辨率的核心部件，其通過提供高精度、低紋波的穩(wěn)定電壓，來精確控制透鏡和半球電極間的電場分布，確保電子軌跡的聚焦與能量篩選能力。
　　半球能量分析器是光電子能譜儀的核心部件。光電子能譜儀根據(jù)激發(fā)源不同，分為雙光子光電子能譜儀、紫外光電子能譜儀、X射線光電子能譜儀（XPS）三種，其中XPS為市場主流產(chǎn)品，目前全球XPS市場規(guī)模在60億元左右。近年來，我國越發(fā)注重基礎研究和新型研發(fā)機構(gòu)建設，XPS采購需求隨之釋放，半球能量分析器作為其核心部件，市場空間也不斷擴大。
　　全球首臺半球能量分析器于1950年誕生，由于技術(shù)壁壘高，目前半球能量分析器供應商仍較少，其中德國Scienta Omicron公司是全球領先供應商，其DA30型半球能量分析器標稱能量分辨率達1.8meV。
　　我國研究起步較晚、研究基礎較薄弱，長期以來，半球能量分析器一直依賴進口，進而限制了光電子能譜儀國產(chǎn)化進程及科研、新興等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。進口半球能量分析器售價高，易被卡脖子，在復雜多變的國際形勢下，半球能量分析器國產(chǎn)替代需求旺盛。
　　蘇州華萃儀器有限公司（蘇州華萃）是半球能量分析器國產(chǎn)化的主要推動者，其半球能量分析器型號包括R150X型、R200D型等，其中R200D型半球能量分析器能量分辨率達到了DA30水平。此外蘇州華萃還實現(xiàn)了微聚焦/雙陽極X射線源、ARPES（角分辨光電子能譜儀）整機系統(tǒng)的全面國產(chǎn)化生產(chǎn)。
　　近年來，我國科研經(jīng)費投入逐年增長，根據(jù)國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)顯示，2024年研經(jīng)費投入超3.6萬億元，同比增長8.3%。光電子能譜儀是新材料研發(fā)中不可或缺的表征儀器，而半球能量分析器作為光電子能譜儀的核心部件，在此背景下，市場空間不斷擴大。