俄歇電子能譜儀簡稱AES，又稱掃描俄歇納米探針，是一種電子束探針表面分析儀器，工作原理是采用電子源入射樣品的表面激發(fā)出二次電子及俄歇電子，通過二次電子觀察材料形貌，通過檢測俄歇電子的能量和強(qiáng)度，來獲得有關(guān)材料表層化學(xué)成分的定性、定量和結(jié)構(gòu)信息。
　　俄歇電子能譜儀基本架構(gòu)由電子槍、能量分析儀、探測器、分析室、濺射離子槍、信號(hào)處理與記錄系統(tǒng)等構(gòu)成，其中電子槍用于產(chǎn)生激發(fā)電子源，能量分析儀用于測量俄歇電子能量，濺射離子槍用于樣品表面的預(yù)處理或深度剖析。
　　俄歇電子能譜儀可進(jìn)行元素的定量分析、定性分析、面分布分析、深度剖析、價(jià)態(tài)分析等，其定量分析方法分為相對(duì)靈敏度因子法、純元素樣品法、多元素標(biāo)準(zhǔn)樣品法等，其中相對(duì)靈敏度因子法較為常用。
　　近年來，隨著科技技術(shù)進(jìn)步以及新型分析器、探測器的應(yīng)用，俄歇電子能譜儀性能不斷提升，目前其已具備高能量分辨、高信噪比、高空間分辨、高靈敏度、分析速度快等特點(diǎn)。與此同時(shí)，俄歇電子能譜儀應(yīng)用空間也不斷擴(kuò)大，目前其已廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體器件、微電子器件、鋰電池正/負(fù)極材料、金屬合金材料、催化材料、顆粒粉末材料等研究中。
　　在國際市場上，PHI公司是全球領(lǐng)先的俄歇電子能譜儀供應(yīng)商。PHI公司于1969年研制了首個(gè)商用俄歇表面分析儀器，隨后PHI公司持續(xù)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，不斷推出新一代俄歇電子能譜儀，如PHI 710 Auger NanoProbe，進(jìn)一步奠定了PHI公司在俄歇電子能譜儀領(lǐng)域的領(lǐng)航者地位。
　　1982年，日本真空技術(shù)（ULVAC公司）與PHI公司合資成立ULVAC-PHI,Inc.2003年，日本ULVAC公司將ULVAC-PHI,Inc.整體收購，PHI公司成為其子公司，后因業(yè)務(wù)范圍擴(kuò)大、服務(wù)需求增加，其在中國地區(qū)先后成立了高德科創(chuàng)有限公司、高德英特（北京）科技有限公司（PHI CHINA）、愛發(fā)科費(fèi)恩斯（南京）儀器有限公司，以負(fù)責(zé)PHI產(chǎn)品在國內(nèi)銷售和售后服務(wù)。
 　　作為表面分析儀器，俄歇電子能譜儀具有高靈敏度和高空間分辨能力，近年來，其應(yīng)用極大地推動(dòng)了半導(dǎo)體、微電子器件、新能源、冶金等領(lǐng)域的研究進(jìn)展。國外企業(yè)起步早、技術(shù)先進(jìn)、產(chǎn)品型號(hào)多樣，在俄歇電子能譜儀生產(chǎn)、供應(yīng)方面處于主導(dǎo)地位，我國進(jìn)口依賴度高，國產(chǎn)替代空間大。