氮化硅微粉，又稱氮化硅粉末、Si₃N₄粉末，指以氮化硅為基材制成的粉末材料。氮化硅微粉具備抗氧化、耐高溫、化學穩(wěn)定性好、摩擦系數(shù)低、熱膨脹系數(shù)小等優(yōu)勢，在航空航天、醫(yī)藥制造、國防軍工、半導體制造以及機械加工等領域擁有廣闊應用前景。
   氮化硅微粉制備方法包括固相反應法、氣相反應法以及液相反應法等。固相反應法可細分為碳熱還原二氧化硅法、硅粉直接氮化法以及自蔓延法；氣相反應法可分為激光氣相反應法、高溫氣相反應法以及等離子體氣相反應法等。等離子體氣相反應法（PCVD）采用等離子體產(chǎn)生反應氣體，進而制得氮化硅微粉，具備成品質量好、參數(shù)易控制等優(yōu)勢，適合進行大規(guī)模生產(chǎn)。
    氮化硅微粉作為一種高性能陶瓷粉末材料，在眾多領域擁有廣闊應用前景，主要包括航空航天、醫(yī)藥制造、國防軍工、半導體制造以及機械加工等。在航空航天領域，氮化硅微粉可用于制造航天器熱障涂層以及飛機發(fā)動機內襯件；在半導體制造領域，其可用于制造高功率半導體封裝陶瓷基板；在機械加工領域，其可用于制造模具以及機械密封環(huán)等構件。
   目前，受技術壁壘高等因素限制，我國高純度氮化硅微粉仍依賴進口，日本為我國主要進口國。日本宇部興產(chǎn)株式會社（UBE）、日本電氣化學工業(yè)株式會社（DENKA）等為全球知名氮化硅微粉生產(chǎn)商。宇部興產(chǎn)采用酰亞胺熱解法制備氮化硅微粉，產(chǎn)品具備粒徑均勻、純度高等優(yōu)勢。
   我國氮化硅微粉市場主要參與者包括安陽亨利高科實業(yè)有限公司、高富高新材料（浙江）有限公司、山東青州微粉有限公司、中科新瓷（重慶）科技有限公司、山東國瓷功能材料股份有限公司等。目前，高富高新正在積極推進高純高性能氮化硅粉體及器件項目建設，達產(chǎn)后其氮化硅微粉年產(chǎn)量將達到3600噸。
   氮化硅微粉在眾多領域需求旺盛，未來伴隨下游行業(yè)景氣度提升，其市場空間將得到進一步擴展。目前，我國高純度氮化硅微粉仍依賴進口，這是行業(yè)發(fā)展面臨的主要挑戰(zhàn)。未來本土企業(yè)亟需加大研發(fā)投入力度，以提升我國氮化硅微粉技術水平及產(chǎn)品質量。